产品详情
  • 产品名称:日本Otsuka大塚分光干扰式厚度计SF-3四川成都西崎供应

  • 产品型号:SF-3
  • 产品厂商:日本Otsuka大塚
  • 产品价格:0
  • 折扣价格:0
  • 产品文档:
你添加了1件商品 查看购物车
简单先容:
日本Otsuka大塚分光干扰式厚度计SF-3四川成都西崎供应 以非接触的温哈和树脂的超高速实时、高精度的测定 日本Otsuka大塚分光干扰式厚度计SF-3四川成都西崎供应
详情先容:

製品情報

特 長
  • 非接触、非破壊で厚み測定が可能
  • 反射光学系(片側からのコンタクトで測定が可能)
  • 高速性(*速5kHz)且つリアルタイム評価が可能
  • 高い安定性(繰返し精度 0.01%以下)を実現
  • 粗さやハイドープに強い
  • 任意距離に対応が可能
  • 多層構造に対応(*大5層)
  • NGデータ排除機能を内蔵
  • 距離(形状)測定が可能(組込センサー用付属オプション) *
                                                            *測定レンジ内の光学距離測定による

5つの特長

 

測定項目
  • 厚み測定(5層)

 

用途
  • 各種ウェーハ厚み(Silicon、その他化合物ウェーハ)
  • 各種 研削?研磨?貼り合わせなどへのプロセス組込
  • ウェーハ以外の厚膜部材厚み

 

半導体プロセスへの組み込み例
■ CMPプロセス

 

 

 

■ テンポラリーボンディング

 

 

 

■ バックグラインド

 

 

 

■ ウェットエッチング

 

标题:
内容:
联系人:
联系电话:
Email:
企业名称:
联系地址:
 
 
注:1.可以使用快捷键Alt+S或Ctrl+Enter发送信息!
2.如有必要,请您留下您的详细联系方式!

粤公网安备 51012402000291号

XML 地图 | Sitemap 地图