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  • 产品名称:反应腔室排气压力控制器 EC-5000系列四川成都重庆西崎商社区域销售

  • 产品型号:EC- 5000
  • 产品厂商:HORIBA掘场
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反应腔室排气压力控制器 EC-5000系列四川成都重庆西崎商社区域销售、 反应腔室排气压力控制器 EC-5000系列四川成都重庆西崎商社区域销售
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反应腔室排气压力控制器 EC-5000系列

  • 概要
  • 規格

概要

EC-5000系列产品是由一套排气压力控制器所组成,此装置可保证反应室的压力值始终稳定在客户要求的设定范围。高分辨度的步进式马达和独特的蝶形阀设计确保了本产品的高速、高分辨度响应。

特征

  •  适合高真空环境使用:不锈钢质本体
  • 抗腐蚀

     

  • 使用PTFE(聚四氟乙烯)制作的本体也可以提供

     

  • 适合对于腐蚀性气体的使用

     

  •  

当排气端流量被调整到*佳的位置:

  • 抗蚀剂是以一层均匀的薄膜方式分布的

     

  • 阻止了喷雾的次级沉积

     

  • 阻止了危险水蒸气的扩散

    此外,与流量传感器控制方式相比较而言,因抗蚀剂和其他污染物堆积对本产品造成的影响更小

    此产品属于受日本法律管制的出口品(列于控制清单之上)。在从日本出口到海外或者供应给非日本企业前,必需从日本经济产业省的相关部门获得出口许可证件。

制造: HORIBA STEC

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