产品详情
  • 产品名称:成都强势供应日本日立HITACHI热场式场发射扫描电镜

  • 产品型号:SU5000
  • 产品厂商:日立HITACHI
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简单先容:
成都强势供应日本日立HITACHI热场式场发射扫描电镜 成都强势供应日本日立HITACHI热场式场发射扫描电镜
详情先容:
日本日立HITACHI热场式场发射扫描电镜SU5000  的详细先容

高性能电子光学系统

  • 二次电子分辨率: 顶位二次电子探测器(2.0 nm at 1kV)*
  • 高灵敏度: 高效PD-BSD, 超强的低加速电压性能,低至100 V成像
  • 大束流(>200 nA): 便于高效微区分析

性能优异

  • 压力可变: 具有优异的低真空(10 -300 Pa)成像性能,配备高灵敏度低真空探测器(UVD)*
  • 开仓室快速简单换样( 大样品尺寸: Φ 200 mm x 80 mmH)
  • 微区分析: EDS, WDS, EBSD等等
  • 项目 内容
    分辨率 1.2 nm @ 30 kV
    3.0 nm @ 1 kV
    2.0 nm @ 1 kV 减速模式*1
    3.0 nm @ 15 kV 低真空模式*2
    放大倍率 10 - 600,000× (底片倍率), 18 - 1,000,000× (800 × 600 像素) 
    30 - 1,500,000× (1,280 × 960 像素)
    电子光学系统 电子枪 ZrO /W 肖特基式电子枪
    加速电压 0.5 - 30 kV (0.1 kV 步进)
    着陆电压 减速模式: 0.1 - 2.0 kV *1
    大束流 > 200 nA
    探测器 低位二次电子探测器
    低真空模式*2 真空范围: 10 - 300 Pa
    马达台 马达台控制 5 - 轴自动 (优中心)
    可动范围 X:0~100mm
    Y:0~50mm
    Z:3~65mm
    T:-20~90°
    R:360°
    大样品尺寸 大直径: 200 mm
    大高度: 80 mm
    选配探测器
    • 高分辨率顶位二次电子探测器*1
    • 高灵敏度低真空探测器 (UVD)
    • 5分割半导体探测器 (PD-BSD)*3
    • 能谱仪 (EDS)
    • 波谱仪 (WDS)
    • 背散射电子衍射探测器 (EBSD)
    *1:
    减速功能(包含高分辨率顶位二次电子探测器)
    *2:
    低真空功能(包含5分割半导体探测器)
    *3:
    空压机(本地采购)


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